?其實蝕刻機和光刻機是兩個完全不同的設(shè)備，在功能和結(jié)構(gòu)上完全不同。光刻機是整個芯片制造過程中最重要的器件，芯片工藝是由光刻機而不是蝕刻機決定的。如下所示:
1.工作原理
如果把做芯片比作蓋房子的話，光刻機的作用就是在地上標出房子的結(jié)構(gòu)。蝕刻機是光刻完成后登場的設(shè)備，也是光刻完成后最重要的設(shè)備之一。蝕刻機的主要作用是根據(jù)光刻機中的標記線做基礎(chǔ)施工，去掉不需要的地方，只留下光刻過程中的標記線。
光刻機相當于畫師，
蝕刻機是雕刻師。前者在硅片上投射出精細的電路圖(就像相機給膠片感光一樣)，后者根據(jù)這個圖刻出線條(就像刻印章一樣，蝕刻掉不必要的部分)。
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蝕刻機?
2.結(jié)構(gòu)
光刻機最重要的核心技術(shù)是光源和光路，主要部件是光源、曝光、探測等高精度機械。相比之下蝕刻機的結(jié)構(gòu)就簡單多了，主要由等離子射頻源、反應(yīng)室和真空氣路組成。
3.賣價
光刻機的價格很高，蝕刻機的價格要低很多。
4.過程
蝕刻機蝕刻硅片多余的部分，光刻機蝕刻硅片上的圖案。
5、難度
光刻機的難度和精度都大于蝕刻機。
