?(1)FeCl3濃度對(duì)蝕刻速度的影響:隨著FeCl3蝕刻液中FeCl 3濃度的增加，蝕刻速度增加。當(dāng)FeCl3含量超過一定濃度時(shí)，由于
蝕刻機(jī)溶液粘度增大，腐蝕速率降低。對(duì)于使用防腐印刷材料或防腐干膜的銅件，濃度可控制在35波美度左右；銅質(zhì)零件使用液態(tài)光刻膠(如骨膠、聚乙烯醇等。).濃度控制在42波美度左右。一般情況下蝕刻機(jī)藥箱internal藥水的濃度為350g/L-600g/L
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溶液濃度對(duì)蝕刻機(jī)有什么影響?
(2)鹽酸用量對(duì)蝕刻機(jī)腐蝕速率的影響:在腐蝕機(jī)中加入鹽酸可以抑制FeCl3和CuCl2的水解；其次，可以提高蝕刻速度。特別是當(dāng)蝕刻液中的銅含量達(dá)到37.4g/L時(shí)，鹽酸的作用更加明顯。但應(yīng)根據(jù)不同的抗蝕劑材料選擇合適的酸度。如果選用骨膠、明膠、聚乙烯醇等光刻膠層做抗蝕劑，則不宜使用過高的酸度，否則容易破壞抗蝕劑。對(duì)于光敏樹脂抗蝕劑和絲網(wǎng)印刷抗蝕劑，可以選擇更高的酸度。
(3)溫度對(duì)刻蝕速率的影響:在FeCl3刻蝕過程中，隨著溫度的升高，工件在蝕刻機(jī)中的腐蝕速率明顯加快。例如，在50℃下，新蝕刻液對(duì)銅的蝕刻速率可達(dá)10μm/min。但在實(shí)際生產(chǎn)中，采用的是常溫蝕刻法。FeCl3對(duì)銅的蝕刻是放熱反應(yīng)。隨著蝕刻的進(jìn)行，蝕刻機(jī) medium 藥水的溫度會(huì)逐漸升高，蝕刻速度會(huì)加快。隨著FeCl3的消耗，蝕刻速率也會(huì)降低。同時(shí)這個(gè)加熱過程比較慢，所以在整個(gè)蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。
